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Flexible single-crystalline semiconductor device and fabrication methods thereof

机译:柔性单晶半导体器件及其制造方法

摘要

Systems and methods herein relate to the fabrication of a single-crystal flexible semiconductor template that may be attached to a semiconductor device. The template fabricated comprises a plurality of single crystals grown by lateral epitaxial growth on a seed layer and bonded to a flexible substrate. The layer grown has portions removed to create windows that add to the flexibility of the template.
机译:本文的系统和方法涉及可附接到半导体器件的单晶柔性半导体模板的制造。所制造的模板包括通过在种子层上的横向外延生长而生长并结合至柔性基板的多个单晶。生长的图层已删除部分以创建窗口,这些窗口增加了模板的灵活性。

著录项

  • 公开/公告号US10411035B2

    专利类型

  • 公开/公告日2019-09-10

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 UNIVERSITY OF HOUSTON SYSTEM;

    申请/专利号US201715654352

  • 发明设计人 JAE-HYUN RYOU;

    申请日2017-07-19

  • 分类号H01L29/04;H01L27/12;H01L21/02;H01L21/20;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 12:11:50

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