公开/公告号US10134880B2
专利类型
公开/公告日2018-11-20
原文格式PDF
申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES INC.;
申请/专利号US201715473043
申请日2017-03-29
分类号H01L21/331;H01L29/732;H01L29/06;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/66;H01L21/311;H01L21/02;H01L29/737;H01L29/165;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:10:15