公开/公告号US2019311908A1
专利类型
公开/公告日2019-10-10
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201916366539
发明设计人 HE REN;MAXIMILLIAN CLEMONS;MEI-YEE SHEK;MINRUI YU;BENCHERKI MEBARKI;MEHUL B. NAIK;CHENTSAU YING;SRINIVAS D. NEMANI;
申请日2019-03-27
分类号H01L21/285;H01L29/45;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:06:48