公开/公告号US10170323B2
专利类型
公开/公告日2019-01-01
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201715440842
申请日2017-02-23
分类号H01L21/3065;H01L21/02;H01L21/67;H01L21/687;H01J37/32;H01L21/311;C23C16/02;C23C16/04;C23C16/38;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/505;C23C16/56;H01L21/285;H01L21/768;H01L27/108;H01L27/11556;H01L27/11582;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:04:57