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GERMANIUM DISSOLUTION INHIBITOR

机译:锗溶解抑制剂

摘要

[Problem] The purpose of the present invention is to solve the contradictory problems of suppressing etching while maintaining the grinding speed during germanium grinding. [Solution] This germanium dissolution inhibitor comprises a compound having: an acidic functional group or a residue thereof; and a basic functional group or a residue thereof.
机译:[问题]本发明的目的是解决在保持锗研磨期间的研磨速度的同时抑制蚀刻的矛盾问题。 [解决方案]该锗溶解抑制剂包含具有酸性官能团或其残基;和碱性官能团或其残基。

著录项

  • 公开/公告号WO2019181269A1

    专利类型

  • 公开/公告日2019-09-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 FUJIMI INCORPORATED;

    申请/专利号WO2019JP04675

  • 发明设计人 YAMAZAKI AYANO;ONISHI SHOGO;

    申请日2019-02-08

  • 分类号H01L21/304;B24B1;B24B37;C09K3/14;

  • 国家 WO

  • 入库时间 2022-08-21 11:53:10

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