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机译:磨料磨料磨具及磨料方法
公开/公告号KR102004570B1
专利类型
公开/公告日2019-07-26
原文格式PDF
申请/专利权人 히타치가세이가부시끼가이샤;
申请/专利号KR20147024909
发明设计人 미나미 히사타카;아쿠츠 도시아키;이와노 도모히로;후지사키 고지;
申请日2013-02-14
分类号H01L21/304;B24B37;C09K3/14;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 11:48:03
机译: 磨料,磨料套件和研磨基材的方法
机译: 磨料,磨料磨具和研磨基材的方法