公开/公告号EP3644382A1
专利类型
公开/公告日2020-04-29
原文格式PDF
申请/专利权人 BRUKER EAS GMBH;
申请/专利号EP20190204987
发明设计人 BÜHLER CARL;ABÄCHERLI VITAL;DR. SAILER BERND;DR. SCHLENGA KLAUS;DR. THÖNER MANFRED;WANIOR MATHEUS;
申请日2019-10-24
分类号H01L39/24;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 11:38:35