公开/公告号US10763142B2
专利类型
公开/公告日2020-09-01
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201514860078
发明设计人 MARCUS MUSSELMAN;JUAN VALDIVIA III;HUA XIANG;ANDREW D. BAILEY III;YOKO YAMAGUCHI;QIAN FU;AARON EPPLER;
申请日2015-09-21
分类号G05B19/418;H01L21/67;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:29:12