公开/公告号US10541312B2
专利类型
公开/公告日2020-01-21
原文格式PDF
申请/专利号US201816043588
申请日2018-07-24
分类号H01L29/49;H01L29/423;H01L29/66;H01L29/786;H01L23/31;H01L29/78;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/58;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/56;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/308;H01L21/3105;H01L21/321;H01L29/08;H01L29/10;H01L29/51;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:27:20