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METHOD TO IMPLEMENT WAFER-LEVEL CHIP-SCALE PACKAGES WITH GROUNDED CONFORMAL SHIELD

机译:带有接地共形屏蔽的晶圆级芯片级封装的方法

摘要

Embodiments disclosed herein include electronic packages with conformal shields and methods of forming such packages. In an embodiment, the electronic package comprises a die having a first surface, a second surface opposite the first surface, and sidewall surfaces. A redistribution layer is over the first surface of the die, and the redistribution layer comprises a first conductive layer. In an embodiment, an under ball metallization (UBM) layer is over the redistribution layer, and a conductive shield is over the sidewall surfaces of the die and the second surface of the die. In an embodiment, the conductive shield is electrically coupled to the UBM layer.
机译:本文公开的实施例包括具有保形屏蔽的电子封装以及形成这种封装的方法。在一个实施例中,电子封装包括具有第一表面,与第一表面相对的第二表面以及侧壁表面的管芯。重分布层在管芯的第一表面上方,并且重分布层包括第一导电层。在一个实施例中,焊球下金属化(UBM)层在重分布层之上,并且导电屏蔽层在管芯的侧壁表面和管芯的第二表面之上。在一个实施例中,导电屏蔽被电耦合到UBM层。

著录项

  • 公开/公告号US2020312781A1

    专利类型

  • 公开/公告日2020-10-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 INTEL CORPORATION;

    申请/专利号US201916368032

  • 申请日2019-03-28

  • 分类号H01L23/552;H01L23/498;H01L23/31;H01L21/48;H01L21/78;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 11:22:12

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