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SPECTROSCOPIC MICROSCOPE AND SPECTROSCOPIC OBSERVATION METHOD

机译:光谱显微镜及光谱观察方法

摘要

A spectroscopic microscope according to the present embodiment includes a light source that generates laser light that enters a sample, a multi-slit part having a plurality of slits through which signal light branched by the edge filter passes, the slits being arranged in the slit width direction, and a spectrometer that disperses the signal light having passed through the slits in the dispersion direction intersecting the slit length direction and detects the signal light with a two-dimensional array photodetector.
机译:根据本实施例的分光显微镜包括:光源,其产生进入样品的激光;多狭缝部分,其具有多个狭缝,由边缘滤光器分支的信号光穿过该狭缝,这些狭缝以狭缝宽度排列。光谱仪,其将穿过狭缝的信号光沿与狭缝长度方向相交的色散方向进行散射,并利用二维阵列光电检测器检测该信号光。

著录项

  • 公开/公告号US2020003618A1

    专利类型

  • 公开/公告日2020-01-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 NANOPHOTON CORPORATION;

    申请/专利号US201816484449

  • 发明设计人 KATSUMASA FUJITA;

    申请日2018-02-01

  • 分类号G01J3/04;G01N21/65;G01N21/27;G01J3/36;G01J3/28;G01J3/44;G02B21/06;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 11:20:52

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