公开/公告号SG11202001325QA
专利类型
公开/公告日2020-03-30
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号SG20201101325Q
发明设计人 BANIK STEPHEN;BUCKALEW BRYAN;BERKE AARON;FORTNER JAMES;OBERST JUSTIN;MAYER STEVEN;RASH ROBERT;
申请日2018-08-20
分类号C25D17;C25D5/02;C25D7/12;C25D17/02;C25D17/06;H01L21/288;
国家 SG
入库时间 2022-08-21 11:15:44