公开/公告号CN111032927A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-04-17
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201880054244.4
申请日2018-08-20
分类号C25D17/00(20060101);C25D17/02(20060101);C25D17/06(20060101);C25D5/02(20060101);C25D7/12(20060101);H01L21/288(20060101);
代理机构31263 上海胜康律师事务所;
代理人樊英如;邱晓敏
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2023-12-17 10:12:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-04-17
公开
公开
机译: 电镀过程中流动隔离和聚焦的方法和装置
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