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METHOD AND SYSTEM FOR AN ALL-OPTICAL WAFER ACCEPTANCE TEST

机译:全光晶圆验收测试的方法和系统

摘要

Methods and systems for an all-optical wafer acceptance test may include an optical transceiver on a chip, the optical transceiver comprising first, second, and third grating couplers, an interferometer comprising first and second phase modulators, a splitter, and a plurality of photodiodes. A first input optical signal may be received in the chip via the first grating coupler, where the first input optical signal may be coupled to the interferometer. An output optical signal may be coupled out of the chip via the second grating coupler for a first measurement of the interferometer. A second input optical signal may be coupled to a third grating coupler and a portion of the second input optical signal may be communicated to each of the plurality of photodiodes via the splitter. A voltage may be generated using the photodiodes based on the second input signal that may bias the first phase modulator.
机译:用于全光晶片验收测试的方法和系统可包括芯片上的光收发器,该光收发器包括第一,第二和第三光栅耦合器,包括第一和第二相位调制器的干涉仪,分离器和多个光电二极管。可以经由第一光栅耦合器在芯片中接收第一输入光信号,其中第一输入光信号可以被耦合到干涉仪。可以经由第二光栅耦合器将输出光信号耦合出芯片,以进行干涉仪的第一测量。第二输入光信号可以耦合到第三光栅耦合器,并且第二输入光信号的一部分可以通过分离器被传送到多个光电二极管中的每一个。可以基于第二输入信号使用光电二极管来产生电压,该电压可以使第一相位调制器偏置。

著录项

  • 公开/公告号WO2020142491A1

    专利类型

  • 公开/公告日2020-07-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 LUXTERA LLC;

    申请/专利号WO2019US69066

  • 申请日2019-12-31

  • 分类号G01D5/353;G02B6/26;G02B6/34;

  • 国家 WO

  • 入库时间 2022-08-21 11:10:14

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