公开/公告号WO2020180334A1
专利类型
公开/公告日2020-09-10
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号WO2019US21217
发明设计人 HWANG YOUNG JOO;LEE SANG CHEOL;KIM KWAN HEE;LEE JUNGMIN;KIM DAE YONG;KURITA SHINICHI;JI JUNG MIN;
申请日2019-03-07
分类号H01L21/677;H01L51/56;H01L21/687;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 11:09:31