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Mask frame integration, a carrier for the mask frame, and how to handle the mask

机译:面具框架集成,掩模框架的载体,以及如何处理掩码

摘要

A carrier for the mask is described. wherein the carrier has a carrier body having a surface configured to face at least a portion of the mask, the carrier body having an opening for material deposition; and a magnetic holding arrangement having one or more magnetic holders arranged around an opening in the carrier body in the carrier body.
机译:描述用于掩模的载体。 其中载体具有载体主体,该载体具有构造成面部面罩的至少一部分的表面,载体主体具有用于材料沉积的开口; 和磁保持装置,其具有一个或多个磁台,围绕载体主体的开口围绕开口。

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