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Micromechanical pressure sensor device

机译:微机械压力传感器装置

摘要

The invention provides a micromechanical pressure sensor device for absolute pressure measurement with an inlet, one or more Bourdon tube elements, each having an open first end and a closed second end, the respective first end (s) being attached to an anchor on a substrate and forming the inlet, wherein the or the respective second ends are attached to a seismic mass, wherein the or the tubular spring elements are designed such that the seismic mass is deflected by a pressure change of a pressure at the inlet to an ambient pressure Ptranslatorisch or rotationally, a deflection detection device for detecting an electrical signal which reflects the deflection. The invention also provides a micromechanical pressure sensor device for measuring relative pressure and a micromechanical pressure sensor device for measuring dynamic pressure.
机译:本发明提供了一种用于绝对压力测量的微机械压力传感器装置,其具有入口,一个或多个波登管元件,每个波登管元件具有开放的第一端和封闭的第二端,相应的第一端附接到基板上的锚固件上。并形成入口,其中所述第二端或相应的第二端附接到地震质量,其中所述管状弹簧元件或管状弹簧元件被设计为使得地震质量通过入口处的压力的压力变化而偏转到环境压力Ptranslatorisch偏转检测装置或旋转地检测偏转信号的电信号。本发明还提供了一种用于测量相对压力的微机械压力传感器装置和一种用于测量动态压力的微机械压力传感器装置。

著录项

  • 公开/公告号DE102018210850A1

    专利类型

  • 公开/公告日2020-01-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ROBERT BOSCH GMBH;

    申请/专利号DE201810210850

  • 发明设计人 PETER PINTER;

    申请日2018-07-02

  • 分类号G01L7/04;G01L9/06;B81B3;B81B7/02;B81C1;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 11:01:46

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