公开/公告号CN106986301B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-26
原文格式PDF
申请/专利权人 罗伯特·博世有限公司;
申请/专利号CN201611128415.2
发明设计人 武震宇;
申请日2016-12-09
分类号B81C1/00(20060101);B81B7/02(20060101);G01L9/12(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人韩长永
地址 德国斯图加特
入库时间 2022-08-23 12:40:49
机译: 微机械压力传感器装置,包括在微机械功能层中并排形成的,与压力传感器和另一个传感器相对应的第一和第二微机械功能区域,以及相应的制造方法
机译: 微机械压力传感器装置和用于制造微机械压力传感器装置的相应方法
机译: 微机械压力传感器装置的制造方法和相应的微机械压力传感器装置