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机译:烃薄膜,烃薄膜的制备方法和包含烃薄膜的半导体装置
公开/公告号KR1020200083324A
专利类型
公开/公告日2020-07-08
原文格式PDF
申请/专利权人 충남대학교산학협력단;울산과학기술원;
申请/专利号KR1020190176443
发明设计人 김의태;김동욱;이종훈;
申请日2019-12-27
分类号
国家 KR
入库时间 2022-08-21 10:56:33
机译: 烃薄膜,烃薄膜和半导体器件的制备方法包括烃薄膜
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