用于可调MEMS电容器的控制器

摘要

一种MEMS可调电容器，包括第一和第二相对的电容器电极(10、12)，其中，MEMS开关可移动所述第二电容器电极(12)，以改变电容器电介质间隔，从而调节电容。可调电介质材料(14)和不可调电介质材料串联在第一和第二电极之间。可调电介质材料占据电极间隔的尺寸gd，不可调电介质材料占据电极间隔的尺寸g。面向可移动的第二电极(12)的第三电极(20)用于电控制可调电介质材料。控制器适于改变电容器电介质间隔，以获得MEMS电容器的电容调整的第一连续范围，并调节电介质材料(14)，以获得MEMS电容器的电容调整的第二连续范围，从而提供包括第一范围和第二范围的连续的模拟调整范围。这种布置提供了MEMS功能和电介质调节功能的独立控制，并提供了连续的可调性。