适应基片交接位置误差的机械手传递装置

摘要

本发明公开了一种适应基片交接位置误差的机械手传递装置，由机械手和与之配套的基片托构成，其特点是在机械手的腕部安装了变远心顺应机构，该变远心顺应机构能够自动调整和适应机械手前部取托指和基片托配位时的位置误差，从而顺利完成基片的传递交接，因此采用本发明进行基片的传递，可减少监控元件的使用数量，同时简化整套机械传递装置的自动控制系统，从而大大降低设备制造和使用成本，并可显著提高镀膜产品的质量和成品率。