激光加工状态检查方法及装置以及太阳能电池板制造方法

摘要

本发明可在加工时检查激光束的光轴状态及激光束的输出状态，且能早期检测激光束加工状态，而据此早期反馈激光束加工时的条件，减少不合格产生率。本发明是，照射激光束对工件实施加工，随后立即获取工件的加工部位的图像，并根据此图像来检查加工状态。根据本发明，将基于激光束加工才结束后的图像来实时地辨识激光束的加工状态，并将该状态反馈使加工条件最佳化，明显减少不合格产生率。本发明中，检查激光束的光轴偏移、脉冲宽度、脉冲高度(激光功率)、漏脉冲之中的至少一个，来作为激光加工时的激光束状态，且将提取机构配置在激光束的光路中，分叉提取一部分激光束，由光接收机构来接收经分叉提取后的激光束，并据此光接收信号来进行检查。