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衬底搬进搬出装置和方法及衬底搬送装置和方法

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一种在存放衬底(A)的存放容器(10)搬入或搬出衬底(A)的衬底搬进搬出装置(1)。其具备载置衬底(A)的载置台(31)、设置在载置台(31)上在衬底(A)的搬进搬出方向可移动的保持衬底(A)的保持部(32)、在载置台(31)上在搬进搬出方向可移动地支承在保持部(32)上保持的衬底(A)的滚筒(37)。

著录项

公开/公告号CN1600658B

专利类型发明专利
公开/公告日2012-05-09

原文格式PDF
申请/专利权人神钢电机株式会社;
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申请/专利号CN200410090520.2
发明设计人北泽保良;
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申请日2004-08-18
分类号
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人李贵亮
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:09:26

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-10-10

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B65G 49/00 授权公告日:20120509 终止日期:20160818 申请日:20040818

专利权的终止
2012-05-09

授权

授权
2012-05-09

授权

授权
2006-05-31

实质审查的生效

实质审查的生效
2006-05-31

实质审查的生效

实质审查的生效
2005-03-30

公开

公开
2005-03-30

公开

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