测量接触孔孔径的图像捕获装置和图像捕获控制方法

摘要

本发明公开了一种测量接触孔孔径的图像捕获装置，该装置包括扫描电子显微镜SEM，该装置还包括：第一控制单元，用于在旋涂于晶片的光阻胶上曝光形成所述接触孔的形状、以及尺寸大于所述接触孔的预设基准区域的形状后，控制所述SEM捕获所述基准区域的图像；第二控制单元，用于按照预先设置的接触孔形状相对于基准区域的位置关系，控制所述SEM相对于所述晶圆平移、直至表示接触孔形状的图像进入所述SEM的视野中，以捕获所述接触孔形状的图像；参数配置单元，用于存储所述接触孔形状相对于基准区域的位置关系。同时，本发明还公开了一种测量接触孔孔径的图像捕获控制方法，采用该方法和装置可提高图像捕获的效率。