流量传感器及应用此流量传感器的质量流量控制装置

摘要

本发明目的在于提供一种用于大流量但却不至于大型化的、廉价而简洁的高性能流量传感器以及应用此传感器的质量流量控制装置。其特征在于，流量传感器(8)将流体以特定的分流比分流至旁通流路(12)和由形成桥式电路一部分的发热电阻丝绕制成的传感器流路(14)，将通过上述流体流经上述传感器流路(14)而产生的热移动作为上述桥式电路的不平衡来捕捉，以此求出上述流体的整体流量作为传感器输出。上述旁通流路由多条细流路(74)构成，各条细流路之截面由大体呈直线状的一条边和与该条边相切的曲线形成，上述细流路(74)的等效水力直径(d)与上述细流路(74)的长度(T)的常用对数之比在0.27以下。并且，该流量传感器安装在质量流量控制装置内。