小形マスフローセンサ＜小形·軽量の質量流量センサの紹介と応用事例＞

摘要

従来、流量計は定量的な計量、流量制御に用いられ、そこでは客観的に確立された流量基準、高い計測精度·再現性、堅牢性などが要求されていた。しかしながら流量計は一般的に高価であり、また取り扱いにも熟練が必要であったため、目視による目安量の管理や圧力などの代替手法での管理も行われていた。一方、分析や医療の分野では環境保全意識の高まりや高齢化社会への移行を背景として、分析精度の向上や使用者の利便性の改善が求められ、また微少電子部品の実装工程ではタクトタイムの高速化や電子部品の微小化に伴う実装品質の改善が求められ、新たに小形·軽量かつ廉価な質量流量計測のニーズが増している。