平面磁芯螺旋结构微电感器件的制备方法

摘要

一种微电子技术领域的平面磁芯螺旋结构微电感器件及其制备方法。微电感器件包括衬底、磁芯材料、绝缘材料、平面螺旋结构线圈、引脚、引线，平面螺旋结构线圈由两层磁芯材料包裹，并由聚酰亚胺分开，中心引脚与外部引脚相连。工艺如下：溅射Cr层、甩胶、光刻、显影、刻蚀，制作套刻对准符号；粘结磁芯材料、甩胶、光刻、显影、刻蚀磁芯材料；甩聚酰亚胺并烘干固化、抛光；溅射、甩胶、光刻、显影、电镀、制作平面螺旋结构线圈、引线及引脚；甩聚酰亚胺并烘干固化、抛光；溅射Ti层、甩胶、光刻、显影、刻蚀；粘结磁芯材料、甩胶、光刻、显影、刻蚀磁芯材料。本发明使微电感器件的高频损耗大大降低，有效提高了器件的高频性能。