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基于MEMS工艺的磁芯微电感的有限元模拟研究

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本文采用CoventorWare软件设计了一种与半导体工艺兼容的基于MEMS工艺的磁芯微电感.在输入电压1V时,分别在直流输入及1KHz低频交流输入下,用有限元方法模拟了三维磁场分布.计算结果表明,本文设计的磁芯微电感具有较好的低频特性,其电阻值为0.76Ω电感值为7.31nH.

著录项

来源
《第十二届全国敏感元件与传感器学术会议》|2012年|85-87|共3页
会议地点昆山
作者
Tan Zhijie; 谈志杰; Shen Jiaoyan; 沈娇艳; Cheng Xinli; 程新利; Wang Youqing; 王友清; Pan Tao; 潘涛; Wang Bing; 王冰; Wang Wenxiang; 王文襄;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

中国生物医学工程学会;

全国高校传感技术研究会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TM55:TM502;
关键词
磁芯微电感; 工艺设计; 三维磁场; 有限元模拟; 低频特性;

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