第一章 绪论
1.1 研究背景
1.2 磁芯微电感研究现状
1.3 磁芯微电感现存的问题
1.4 针对磁芯微电感现存问题的解决方法
1.5 本论文的主要内容与安排
第二章 用于磁芯微电感的磁芯材料评估方法研究
2.1 磁芯微电感基本参数
2.2 微电感磁芯材料性能要求
2.3 软磁薄膜磁芯材料制备方法
2.4 软磁薄膜磁芯的高频特性及磁导率的评估方法
2.5 利用铁基磁芯材料对提出的评估方法进行验证分析
2.6 热处理对三种铁基合金薄膜的磁性能影响
2.7 小结
第三章 铁钴双分子膜磁芯材料研究
3.1 Fe/Co和Co/Fe双分子膜的制备与磁性能
3.2 热处理对Fe/Co和Co/Fe双分子膜的影响
3.3 小结
第四章 磁芯微电感的线圈和磁芯拓扑结构优化设计
4.1 磁芯微电感线圈拓扑结构优化设计
4.2 磁芯微电感磁芯拓扑结构优化设计
4.3 磁芯微电感版图优化设计
4.4小结
第五章 磁芯微电感微加工工艺研究
5.1 主要微加工工艺
5.2 关键工艺的改进研究
5.3 基于分层分段磁芯和手指型磁通孔磁芯的微电感制备工艺
5.4小结
第六章 磁芯微电感性能测试及分析
6.1 微电感参数测试方法
6.2 微电感等效二端口微波网络
6.3 测试仪器及数据处理方法
6.4 微电感的高频测试结果与分析
6.5 小结
第七章 总结与展望
7.1 主要研究工作及成果
7.2 未来工作展望
参考文献
致谢
攻读博士学位期间发表学术论文、参与科研项目及获奖情况
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