利用三坐标测量机检测大口径非球面光学元件的方法

摘要

本发明是一种利用三坐标测量机检测大口径非球面光学元件的方法，利用信息处理技术对三坐标测量机获取的数据进行处理，采取利用测头补偿的方法对三坐标测量机的测头进行误差补偿，利用最小二乘法剔除检测数据的倾斜和平移误差，并剔除由格兰姆-施密特正交化方法进行面形数据Zernike多项式拟合后的常数项和倾斜项，复原被检测的大口径非球面光学元件面形，以实现大口径光学元件高精度三坐标测量目的。本发明全面考虑被检大口径非球面光学元件三坐标测量机的误差源，从而可以更加真实客观的评价光学元件的面形质量。本发明采用测头补偿和最小二乘法对光学元件面形测量误差进行处理，对高精度大口径光学元件的面形检测具有重要的应用价值。