一种磁悬浮精密运动定位平台的解耦控制方法

摘要

本发明提供一种用于精密磁悬浮直线运动定位平台的解耦控制方法，本方法运用气隙反馈与力反馈控制相结合的方法实现四个支承力之间的解耦。为存在于f₁、f₂、f₃和f₄之间的耦合，本发明通过采用实时计算反馈f₁、f₂和f₃的大小来反推f₄的控制电压大小以保证既能提高运动平台的刚度又能不至于对其它三个力产生耦合干扰。本发明实现了四个支承力之间的解耦，在不改变原悬浮体设计悬浮刚度的同时大大简化了悬浮体的控制和调试的复杂度，具有很好的控制效果。