非挥发性集成铁电薄膜存储器

摘要

一种非易失性集成铁电薄膜存储器，属于新一代信息存储器领域。主要由包含铁电薄膜电容器、开关管组成的铁电存储单元和制有动态随机存取存储器(DRAM)或静态随机存取存储器(SRAM)存储电路的芯片构成，铁电存储单元沉积在芯片上，其特征是铁电存储单元并联在DRAM的存储电容上或接在SRAM的输出端上。克服了现有铁电存储器的直流击穿和易疲劳等缺点，集成度高，能实现非易失性存储，易规模生产，可广泛用于信用卡、电子辞典、电子记录本、移动电话、电子游戏机等方面。