公开/公告号CN101451237B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-02-08
原文格式PDF
申请/专利权人 中微半导体设备(上海)有限公司;
申请/专利号CN200710171405.1
申请日2007-11-30
分类号C23C16/50(20060101);C23C16/513(20060101);C30B25/08(20060101);H05H1/00(20060101);B01J19/08(20060101);
代理机构31002 上海智信专利代理有限公司;
代理人王洁
地址 201201 上海市浦东金桥出口加工区(南区)泰华路188号
入库时间 2022-08-23 09:08:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-04-12
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/50 变更前: 变更后: 申请日:20071130
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2012-02-08
授权
授权
2012-02-08
授权
授权
2009-08-05
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-08-05
实质审查的生效
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2009-06-10
公开
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2009-06-10
公开
公开
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机译: 具有多个等离子体区域的多工位等离子体反应器
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