具有多个等离子体室的游离基反应器

摘要

在游离基反应器中提供两个或者更多等离子体室以在不同条件下生成气体的游离基用于在原子层沉积(ALD)工艺中使用。游离基反应器具有如下本体，该本体具有多个通道和对应工艺室。每个等离子体室由外电极包围并且具有经过室延伸的内电极。在跨外电极和内电极施加电压而气体存在于等离子体室中时，在等离子体室中生成气体的游离基。然后向混合室中注入在等离子体室中生成的游离基用于与来自另一等离子体室的另一气体的游离基混合、然后向衬底上注入。通过提供两个或者更多等离子体室，可以在相同游离基反应器内生成气体的不同游离基，这可以避免需要分离的游离基反应器。