基于纳米测量与倾斜扫描白光干涉微结构测试系统及方法

摘要

一种基于纳米测量与倾斜扫描白光干涉微结构测试系统及方法，系统有图像采集卡，数字CCD摄像机，显微光学系统，干涉物镜，可调倾斜工作台，PC机，纳米测量机，工作台倾斜控制器，通过光纤向显微光学系统提供光源的白光光源，PC机还分别连接图像采集卡和工作台倾斜控制器。方法是在纳米测量机的工作平台上固定可调倾斜工作台，将被测样品至于其上，由PC机控制纳米测量机带动可调倾斜工作台沿其倾斜角度完成扫描，CCD数字摄像机采集图像并由图像采集卡传至PC机进行后续处理；对于采集的图像进行追踪并进行干涉信号的提取后，进行零级干涉条纹的位置进行定位，最终确定表面形貌。本发明为无损的检测，消除了光源热效应的影响，可以实现0.1nm的位移分辨力。