公开/公告号CN101782481B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-12-28
原文格式PDF
申请/专利权人 福建出入境检验检疫局检验检疫技术中心;
申请/专利号CN201010109315.1
发明设计人 余孔捷;
申请日2010-02-03
分类号
代理机构福州元创专利商标代理有限公司;
代理人蔡学俊
地址 350000 福建省福州市湖东路312号国检广场B座715室
入库时间 2022-08-23 09:08:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-18
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 1/28 授权公告日:20111228 终止日期:20180203 申请日:20100203
专利权的终止
2011-12-28
授权
授权
2011-12-28
授权
授权
2010-09-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N1/28 申请日:20100203
实质审查的生效
2010-09-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 1/28 申请日:20100203
实质审查的生效
2010-07-21
公开
公开
2010-07-21
公开
公开
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机译: 通过在基体材料上涂覆胶体溶液,干燥并在基体材料上烧结颗粒残留物来在基体材料上涂覆电极或电解质的方法
机译: 从含低k介电材料和铜的半导体设备基体中选择性去除金属硬渣和其他残留物的方法和成分
机译: 从含低k介电材料和铜的半导体设备基体中选择性去除金属硬渣和其他残留物的方法和成分