一种电泳复合沉积制备铁电、介电厚膜的方法

摘要

本发明涉及铁电、介电厚膜制备方法。公开了一种钛酸锶钡铁电、介电厚膜的制备方法，为将摩尔比为(1-4)∶(4-1)的BaTiO₃粉体和SrTiO₃粉体电泳沉积后经高温热处理制得钛酸锶钡铁电、介电厚膜。本发明制备钛酸锶钡铁电、介电厚膜成本低、成膜快、组分易于调整、适宜大规模制膜。