公开/公告号CN101958512B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-09-28
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院半导体研究所;
申请/专利号CN200910088813.X
申请日2009-07-20
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人汤保平
地址 100083 北京市海淀区清华东路甲35号
入库时间 2022-08-23 09:08:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-09-28
授权
授权
2011-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 5/34 申请日:20090720
实质审查的生效
2011-01-26
公开
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