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光纤点衍射移相干涉仪的平面面形测量方法

摘要

本发明公开了一种光纤点衍射移相干涉仪的平面面形测量方法,属于光学测量技术领域。首先从测量光纤衍射的球面波经被测平面镜反射,经辅助正透镜汇聚到参考光纤的倾斜端面并再次反射,与参考光纤衍射的球面波汇合而发生干涉,干涉图用标准方法分析和处理;该步测量得到被测平面镜和辅助正透镜引入的像差。然后,移除被测平面镜,移动测量光纤端面到关于被测平面镜的共轭位置,从测量光纤和参考光纤衍射的球面波汇合而再次发生干涉;该步测量得到辅助正透镜引入的像差;将第一、二步测量结果相减即得到被测平面镜引入的像差,按球面波前入射角度修正即得到被测平面镜的面形。本发明方法有效的提高了光纤点衍射移相干涉仪上的平面面形测量精度。

著录项

  • 公开/公告号CN101865670B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-11-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京理工大学;

    申请/专利号CN201010194545.2

  • 申请日2010-06-08

  • 分类号G01B11/24(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 100081 北京市海淀区中关村南大街5号

  • 入库时间 2022-08-23 09:07:55

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2013-07-31

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 11/24 授权公告日:20111109 终止日期:20120608 申请日:20100608

    专利权的终止

  • 2011-11-09

    授权

    授权

  • 2010-12-01

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/24 申请日:20100608

    实质审查的生效

  • 2010-10-20

    公开

    公开

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