增加含过氧化氢的化学机械抛光浆料使用寿命的组合物及方法

摘要

一种适用于铜的化学机械抛光(CMP)的组合物，其包含在液体载体中的研磨剂粉，例如二氧化硅和/或氧化铝研磨剂。该组合物具有小于约百万分之5(ppm)、优选小于约2ppm的过渡金属含量。该组合物优选含有小于约2ppm的钇、锆和/或铁。当所述CMP组合物与过氧化氢组合时，其通过改善浆料中过氧化氢的分解来提供具有改良的使用寿命的用于铜的CMP的CMP浆料。