具有三个蚀刻深度的双蚀刻台阶垫空气轴承结构

摘要

一种具有减小的掩模不对准性灵敏度的空气轴承滑块。在一个实施例中，该空气轴承滑块具有由双蚀刻过程形成的三个蚀刻面。前导和后继台阶区由第一蚀刻步骤形成。靠近空气轴承垫的侧台阶区由第二蚀刻步骤形成。负压区由第一和第二蚀刻步骤两者形成。