薄膜晶体管阵列电路缺陷修补的实时检测方法

摘要

一种薄膜晶体管阵列电路缺陷修补的实时检测方法，包括：提供一至少有一缺陷的薄膜晶体管阵列电路基板，电路基板包括一设于显示区内的薄膜晶体管阵列电路以及一设于非显示区的电性检测图样，该电性检测图样包括一之间绝缘或者电连接的第一结构以及一第二结构；进行一第一阻抗检测制程；同时对该薄膜晶体管阵列电路的该缺陷以及该电性检测图样进行一激光修补制程，同时形成一第一修补线路修复该缺陷以及一第二修补线路电连接或者绝缘该第一结构以及该第二结构；进行一第二阻抗检测制程。本发明的优点在于：不仅能够实时监控成功薄膜晶体管电路图案的缺陷修复，且能达成零亮点、零暗点的高规格并成功提升良率。