音片型振子以及使用了该音片型振子的振动陀螺仪

摘要

本发明提供一种小型的、能够小尺寸化的、能够作为检测灵敏度良好的振动陀螺仪来使用的音片型振子，和使用了该音片型振子的振动陀螺仪。在基板(12)上所形成的音片型振子(10)包括振动体(14)。振动体(14)在整体上形成为蜿蜒状，中央部的振动片作为第一检测部(62)来使用。在振动体(14)的一侧形成驱动电极(16、18)，连接到引出电极(26、28)。第一检测部(62)的一个主面上形成检测电极(20)和公共电极(22)。振动体(14)的另一个主面上形成公共电极(22)，通过通孔(24)连接到一个主面上的公共电极(22)。检测电极(20)和公共电极(22)连接到引出电极(30、32)。