用于确定基片表面质量的方法和用于加工基片的相关机器

摘要

本发明涉及一种用于确定在加工过程中从初始基片(2)转变到已加工基片(12)的基片的表面质量的方法，该方法包括以下步骤：获取与在初始基片(2)上检测到的表面缺陷(27，29)相关的第一信息；获取与在已加工基片(12)上检测到的表面缺陷(28，29)相关的第二信息；处理第一信息和第二信息；以及根据与在初始基片(2)上检测到的表面缺陷(27，29)相关的第一获取信息并根据与在已加工基片(12)上检测到的表面缺陷(28，29)相关的第二获取信息，来对已加工基片(12)进行分类。