法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-02-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/336 授权公告日:20110720 终止日期:20131223 申请日:20091223
专利权的终止
2011-07-20
授权
授权
2010-09-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20091223
实质审查的生效
2010-06-16
公开
公开
机译: 氧化锌(ZnO)基单晶的制造方法,ZnO基薄膜和ZnO基单晶薄膜,以及ZnO基单晶薄膜和包含该ZnO基单晶薄膜的ZnO基材料
机译: 氧化锌(ZnO)基单晶纳米结构,制备ZnO基薄膜和ZnO基单晶薄膜,ZnO基单晶薄膜和ZnO基材料包含ZnO薄膜的方法
机译: ZnO薄膜结构和ZnO薄膜晶体管的制造方法,ZnO薄膜结构和ZnO薄膜晶体管