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一种利用纳米材料提高慢波组件散热性能的方法

摘要

本发明公开了一种利用纳米材料提高慢波组件散热性能的方法,涉及微波器件技术,包括步骤:将样品放入直流磁控溅射台内;抽真空,并对样品进行烘烤,烘烤温度控制在200℃;观察溅射台内的真空状况,当真空达到8×10

著录项

  • 公开/公告号CN101752158B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-08-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院电子学研究所;

    申请/专利号CN200810238873.0

  • 发明设计人 韩勇;刘燕文;丁耀根;刘濮鲲;

    申请日2008-12-03

  • 分类号

  • 代理机构中科专利商标代理有限责任公司;

  • 代理人周国城

  • 地址 100080 北京市海淀区北四环西路19号

  • 入库时间 2022-08-23 09:07:31

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-01-20

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 9/00 授权公告日:20110831 终止日期:20141203 申请日:20081203

    专利权的终止

  • 2011-08-31

    授权

    授权

  • 2010-08-18

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 9/00 申请日:20081203

    实质审查的生效

  • 2010-06-23

    公开

    公开

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