公开/公告号CN101291868B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人 O.ME.R.股份公司;
申请/专利号CN200680039037.9
发明设计人 E·罗萨托;
申请日2006-10-16
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人刘志强
地址 意大利米兰诺
入库时间 2022-08-23 09:07:10
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-06-08
授权
授权
2008-12-17
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-10-22
公开
公开
机译: 镇流器支撑装置,例如升降装置,具有用于容纳压载物的接收单元和允许将压载物装载到具有横向布置的导轨的接收单元中的侧面开口
机译: 收纳型载物台升降装置中的载物台防止跌落装置
机译: 具备载物台升降装置的半导体制造设备及载物台升降方法