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激光照射装置、激光照射方法以及改性目标体的制造方法

摘要

本发明提供了适用于液晶显示装置的激光照射装置以及激光照射方法。激光照射装置设有半导体激光元件组(1A),其装有照射激光波长为370nm~480nm的激光的多个第1半导体激光元件(1),传送从多个第1半导体激光元件(1)照射的激光的光纤(2),以直线状保持该光纤(2)的直线光纤束(3),将由该直线光纤束(3)保持的光纤发出的激光整形成线状并且使激光强度分布的顶部平滑化后输出的光补偿器(4),将从该光补偿器输出的激光作为线状激光光斑会聚在目标体上的物镜(5)。上述半导体激光元件组(1A)的总照射输出值为6W以上100W以下。

著录项

  • 公开/公告号CN101432851B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-06-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 日立电脑机器株式会社;

    申请/专利号CN200780014781.8

  • 发明设计人 荻野义明;木村克巳;饭田康弘;

    申请日2007-03-16

  • 分类号

  • 代理机构北京金阙华进专利事务所(普通合伙);

  • 代理人谢亮

  • 地址 日本神奈川

  • 入库时间 2022-08-23 09:07:03

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-03-08

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/268 授权公告日:20110615 终止日期:20180316 申请日:20070316

    专利权的终止

  • 2013-11-20

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/268 变更前: 变更后: 登记生效日:20131029 申请日:20070316

    专利申请权、专利权的转移

  • 2013-11-20

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L21/268 变更前: 变更后: 申请日:20070316

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2013-11-20

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/268 变更前: 变更后: 申请日:20070316

    专利权人的姓名或者名称、地址的变更

  • 2013-11-20

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/268 变更前: 变更后: 登记生效日:20131029 申请日:20070316

    专利申请权、专利权的转移

  • 2011-06-15

    授权

    授权

  • 2011-06-15

    授权

    授权

  • 2009-07-08

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-07-08

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2009-05-13

    公开

    公开

  • 2009-05-13

    公开

    公开

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