公开/公告号CN101432851B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-06-15
原文格式PDF
申请/专利权人 日立电脑机器株式会社;
申请/专利号CN200780014781.8
申请日2007-03-16
分类号
代理机构北京金阙华进专利事务所(普通合伙);
代理人谢亮
地址 日本神奈川
入库时间 2022-08-23 09:07:03
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-03-08
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/268 授权公告日:20110615 终止日期:20180316 申请日:20070316
专利权的终止
2013-11-20
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/268 变更前: 变更后: 登记生效日:20131029 申请日:20070316
专利申请权、专利权的转移
2013-11-20
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L21/268 变更前: 变更后: 申请日:20070316
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2013-11-20
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L 21/268 变更前: 变更后: 申请日:20070316
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2013-11-20
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/268 变更前: 变更后: 登记生效日:20131029 申请日:20070316
专利申请权、专利权的转移
2011-06-15
授权
授权
2011-06-15
授权
授权
2009-07-08
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-07-08
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-05-13
公开
公开
2009-05-13
公开
公开
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机译: 激光照射台,激光照射光学系统,激光照射装置,激光照射方法以及半导体装置的制造方法
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