シリコンにレーザー照射、ドットを配列制御する手法を開発―ナノドットを安価につくれる製法として期待―

摘要

北海道大学と日立製作所、高エネルギー加速器研究機構の共同グループは、シリコン表面にレーザーを照射してナノメートル寸法のドットを自己組織的に配列する手法を開発した。さらに、高圧の電子顕微鏡を使ってその様子をリアルタイムで観察した。ナノドットを安価につくれる簡便な製法として、次世代の低消費電力LSIや量子ドット太陽電池などの高機能素子の開発に役立てる。