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包括反对称最优控制型流量比率控制器的输气方法和系统

摘要

公开了用于气体输送系统的一种反对称最优控制算法,该系统包括流量比率控制器(106),用于将单个质量流分入至少两个流体管线。每个流体管线包括流量计(124)和阀(126)。流量比率控制器的两个阀通过比率反馈环由反对称最优控制器来控制,所述控制器包括单输入单输出SISO控制器、反相器和两个线性饱和器。SISO控制器的输出在施加给两个阀之前被分流和调整。两个阀控制命令实际上相对于最大允许阀传导率位置是反对称的。由于这两个阀经过各自的线性饱和器,其中最大允许阀传导率位置是两个饱和极限之一,合成效果在于,一个阀在任意时间保持在最大允许阀传导率位置,而另一个阀被主动控制以维持流量比率。

著录项

  • 公开/公告号CN101164029B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-06-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MKS仪器公司;

    申请/专利号CN200680013106.9

  • 发明设计人 丁军华;J·A·史密斯;K·H·扎卡尔;

    申请日2006-04-20

  • 分类号

  • 代理机构永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人蔡胜利

  • 地址 美国马萨诸塞

  • 入库时间 2022-08-23 09:07:00

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2011-06-22

    授权

    授权

  • 2008-06-18

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2008-04-16

    公开

    公开

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