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公开/公告号CN101164029B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-06-22
原文格式PDF
申请/专利权人 MKS仪器公司;
申请/专利号CN200680013106.9
发明设计人 丁军华;J·A·史密斯;K·H·扎卡尔;
申请日2006-04-20
分类号
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人蔡胜利
地址 美国马萨诸塞
入库时间 2022-08-23 09:07:00
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-06-22
授权
2008-06-18
实质审查的生效
2008-04-16
公开
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